2019年1月，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）發(fā)布了在成像表面化學(xué)分析中測(cè)量橫向分辨率和明銳度的方法ISO 18516: 2019。它適用于所有使用光束在已設(shè)置好的儀器下分析表面化學(xué)成分的表面分析方法。同時(shí)它也適用于能在預(yù)先選定的視場(chǎng)中用精細(xì)聚焦光束對(duì)樣品能進(jìn)行掃描的掃描儀器，以及能讓視場(chǎng)同時(shí)被寬光束、成像透鏡系統(tǒng)和像素化檢測(cè)器成像的全場(chǎng)成像儀器。測(cè)量橫向分辨率和明銳度的方法如下：

　?。本€邊緣法（the straight edge method）；

　?。€法（the narrow line method）；

　　－光柵法（the grating method）。

　　該標(biāo)準(zhǔn)適用于提供納米厚度層信息的儀器和方法，也適用于具有納米尺寸結(jié)構(gòu)和獨(dú)立納米物體的表面。

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